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    MF-HO系列高溫烘箱
        發(fā)布時間: 2023-06-28 10:08    

    MF-HO系列無氧高溫烘箱設(shè)備是專門設(shè)計用來滿足半導(dǎo)體集成電路行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品的高溫烘烤需求

    MF-HO系列高溫烘箱

    用途特點:

    本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體特殊工藝加工,實驗室產(chǎn)品驗證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式,進行精確的溫度控制。

    技術(shù)特點: 

    多用途的腔體結(jié)構(gòu),有效的工作溫度范圍 +500°C

    腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉,而且還加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層,以減少內(nèi)室的熱傳導(dǎo)。

    過程控制:

    多段式程序控制,完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求;

    與配套AUTORECIPE軟件,實時溫度監(jiān)控軟件,可實現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

    設(shè)備特點:

    可以提供各種標準和非標準腔設(shè)計,包括溫度范圍,容量大小和烘箱形狀等;

    溫度均勻度依照GBT30435-2013

    設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

    提供高性價比的烤箱性能,溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時間等工藝條件;

    滿足SECS/GEM標準的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控;

    提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測;

    配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說明。

     

    型號

    MF-HO****

    1500

    2500

    2600

    2700

    循環(huán)系統(tǒng)

    熱風循環(huán)系統(tǒng)

    性能參數(shù)

    溫度范圍

    RT. + 25°C ~500°C

    溫度波動范圍

    200-300℃5300-400℃8

    溫度均勻性

    200-300℃<5300-400℃<8

    升溫時間

    < 40Min300℃&  < 60Min400℃

    烘箱結(jié)構(gòu)

    烘箱外腔體選材

    烤漆板、不銹鋼

    烘箱內(nèi)腔體選材

    SUS304

    保溫材料

    高密度陶瓷纖維棉

    加熱

    無塵加熱絲或不銹鋼加熱管

    冷卻方式

    水冷、風冷、多段式冷卻

    內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

    500 *640* 500

    500 *640 * 560

    640*640 * 560

    700 *640* 560

    外形尺寸W * H *D mm

    1190 * 900 * 1000

    1300* 1050 * 1890

    1300 * 1050 * 1900

    1460 *1050 * 1900

    容積 (L)

    160

    320

    450

    490

    使用環(huán)境

    溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

    動力配置

    電源配置

    AC380V3PH

    AC380V3PH

    AC380V3PH

    AC380V3PH

    烘箱功率

    10KVA

    20KVA

    20KVA

    20KVA

     

    基本功能配置:

    漏電保護器;

    電磁門鎖;

    加熱保險絲;

    電源缺相保護;

    超溫保護器;

    低溫保護器;

    加熱器防干燒保護;

    馬達轉(zhuǎn)速檢測保護;

    N2壓力檢測;

    功能選配:

    N2流量檢測;

    高低溫聯(lián)動檢測;

    自動排風閥;

    廢氣沉淀回收裝置;










    服務(wù)熱線:021-64307580

    傳真:021-64306520
    郵箱:shanghai@mfinetech.com
    地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號國際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號樓
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