用途特點：

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體特殊工藝加工，實驗室產(chǎn)品驗證等。該烘箱采用加熱循環(huán)方式，進行精確的溫度控制。

技術(shù)特點： 

多用途的腔體結(jié)構(gòu)，有效的工作溫度范圍 至+500°C；

腔體與外箱之間不僅有高效的陶瓷纖維棉，而且還增加了反光鋁箔和鋁制空氣夾層，以減少內(nèi)室的熱傳導(dǎo)。

過程控制：

多段式程序控制，完全滿足現(xiàn)場各種工藝需求；

與配套AUTORECIPE軟件，實時溫度監(jiān)控軟件，可實現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運行參數(shù)管理與生產(chǎn)運行記錄、烘箱操作日志等，提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)。

設(shè)備特點：

可以提供各種標準和非標準腔體設(shè)計，包括溫度范圍，容量大小和烘箱形狀等；

溫度均勻度依照GBT30435-2013；

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標準

提供高性價比的烤箱性能，溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時間等工藝條件；

滿足SECS/GEM標準的半導(dǎo)體封裝測試設(shè)備接口，工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對烘箱進行全面控制和監(jiān)控；

提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測、表面SGS檢測；

配套完成的產(chǎn)品使用手冊及說明。

基本功能配置：

漏電保護器；

電磁門鎖；

加熱保險絲；

電源缺相保護；

超溫保護器；

低溫保護器；

加熱器防干燒保護；

馬達轉(zhuǎn)速檢測保護；

N2壓力檢測；

功能選配：

N2流量檢測；

高低溫聯(lián)動檢測；

自動排風閥；

廢氣沉淀回收裝置；